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廣東華芯半導體技術有限公司2025-06-03
支持離線清潔（拆卸吊籃后人工擦拭）和在線清潔（通水蒸氣 + 氣流吹掃），在線清潔周期可設定為每批次生產后自動啟動。廣東華芯半導體技術有限公司的立式爐采用鏡面不銹鋼內壁，污漬附著力降低 50%，清潔效率提升 3 倍。
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