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廣東華芯半導體技術有限公司2025-06-05
采用五面加熱設計（頂部、底部、左右側、背部），配合雙循環(huán)熱風系統(tǒng)，溫度均勻性≤±1.5℃（300mm×300mm 區(qū)域）。廣東華芯半導體技術有限公司的設備在甲酸活化區(qū)增設單獨溫控模塊，確保局部溫度精確可控。
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