甲酸爐設備的甲酸蒸汽泄漏報警閾值是多少？如何響應？

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廣東華芯半導體技術有限公司2025-06-06

泄漏檢測傳感器閾值設為 50ppm（職業接觸限值），超過時設備自動停機并啟動負壓抽排，同時發送報警短信至責任人。廣東華芯半導體技術有限公司的設備在維護門處增設雙重密封膠條，泄漏率≤0.01mL/min。

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簡介：廣東華芯半導體技術有限公司主營真空固晶回流焊、熱風氮氣焊接設備及無氧銀漿烤箱等設備。

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