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LWZ滑臺在半導體晶圓檢測中的精度表現如何？

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浙江希捷精密機械科技有限公司2025-05-10

在半導體晶圓檢測設備中，LWZ40-L300型號通過雙滑塊設計，實現260mm行程內激光束的亞微米級定位，大幅降低晶圓表面劃傷風險。例如，其定位精度衰減在長期使用中極小，確保晶圓鍵合與檢測的高良率。

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簡介：浙江希捷精密機械科技有限公司有兩個公司：淮安希捷精密機械科技有限公司和溫州爪馬科技有限公司。
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