廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-29

支持氮氣、氧氣、氬氣、氫氣等多種氣體的單一或混合通入，氣體流量控制精度達(dá) ±1% FS。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的設(shè)備配備質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體混配系統(tǒng)，可根據(jù)工藝需求實時調(diào)整氣體成分，滿足氧化、退火、擴(kuò)散等多種工藝場景。

本回答由 廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 提供