碳氫真空清洗機在半導體晶圓清洗中的特殊要求呢？

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唯恒塬環(huán)保科技（蘇州）有限公司2025-06-29

必須使用超高純度碳氫溶劑，避免引入雜質污染晶圓。清洗過程在超凈無塵環(huán)境中進行，設備具備嚴格的潔凈度控制和監(jiān)測系統(tǒng)。采用溫和的清洗工藝，防止損傷晶圓表面的納米級結構，清洗后需進行嚴格的顆粒和離子檢測。

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簡介：唯恒塬環(huán)保主要生產(chǎn)：碳氫/改性醇真空清洗機、真空蒸餾回收機、真空干燥、廢水蒸發(fā)器系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)等

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